20241106 台積電 AP8 招標書

Request for Proposal（RFP）Document AP AUTO PACKING Project
招標書（RFP）文件 AP AUTO PACKING 項目

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DOCUMENT ID：	NUMBER OF PAGES： 24 頁數： 24
REVISION NO： 1.3	STATUS：Active
CREATED DATE：12／03／2019 10：00：00 AM CREATED DATE：12/03/2019 10：00：00 AM	REVISED DATE：2024／6／14 修訂日期：2024年／6／14
FILENAME：AP AMHS Auto Packing RFP Document＿20240614．docx 檔案名稱：AP AMHS 汽車包裝 RFP 檔案_20240614． docx	CREATED BY：Yi Ting，Chuang 創作者：Yi Ting，Chuang

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Double Check 仔細檢查

CREATE／修訂版易婷，莊／蕭婷涵\＆黃宗澤 APAMHS \＆TAMHS1

CREATE／REVISED

Yi Ting，Chuang／Ting

Han Hsiao \＆Tsung

Che Huang

APAMHS \＆TAMHS1

科長 Bryant Chu \＆馮如久男 APAMHS \＆TAMHS1

Section Manager

Bryant Chu \＆Feng

Ru Hisao

APAMHS \＆TAMHS1

Depart Manager C． W． Huang \＆K． C． Ku APAMHS \＆TANHS1

Depart Manager

C．W．Huang \＆K．C．Ku

APAMHS \＆TANHS1

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變更歷史（最新版本在最上方）

Date

Revision 修訂

Responsibility

Change Description

2019／12／03

1.0

Yl Ting，Chuang

Initial version

2021／01／15

1.1

Victor Tseng

3.3.2 兩種袋能力（M） 3.3.3 乾燥劑自勤入袋能力（M） 3.3.4 抽真空\充氮氣能力（M） 3.3.5 Info pad（RFID）拔取能力（M） 3.3.7 兩種自動貼標能力（M） 3.3.9 能力（M） 3.3.7 兩種自動貼標能力（M） 3.3.9 包裝機尺寸（M3.M） 3.3.12 自動包裝及結合機最大輸入/輸出儲存緩衝區（M） 3.3.13 自動包裝及結合機裝載口設計（M）自動包裝及結合機運轉振動規格（M） 3.3.18 RFID \＆Barcode Reader（M） 3.3.28 結合機運行振動規格（M） 3.3.18 RFID \＆Barcode Reader（M） 3.3.28 結合機運行振動規格（M） 3.3.18 RFID \＆Barcode Reader（M） 3.3.28 結合機運行振動規格（M） 3.3.18 RFID \＆Barcode Reader（M） 3.3.28 結合機運行振動規格（M） 3.3.18 RFID \＆Barcode Reader（M） 3.3.28 結合機運行振動規格（M） 3.3.18 RFID \＆Barcode Reader（M） 3.3.28 結合機運行振動規格（M）。 3．3．30 結合機台可靠度（M）

3．3．2 Capability for two kinds of bag（M）

3．3．3 Capability for 乾燥劑自勤入袋（M）

3．3．4 Capability for 抽真空\＆充氮氣（M）

3．3．5 Capability for Info pad（RFID）拔取（M）

3．3．7 Capability for 兩種自動貼標（M）

3．3．9 Maximum packing and 結合機 move（M）

3．3．10 Maximum Tool Dimension（M）

3．3．12 Auto packing and 結合機 Maximum input／Output storage buffer（M）

3．3．13 Auto packing and 結合機 load port Design（M）

Auto Packing and 結合機 Running Vibration spec（M）

3．3．18 RFID \＆Barcode Reader（M）

3．3．28 結合機對應 tray dimension（M）

3．3．29 結合機放置 FOUP／FOSB 到對應 Tray（M）

3．3．30 結合機 reliability（M）

2022／07／28

1.2

Victor Tseng

3．3．1 Packing Carrier type（M）
3．3．1 包裝載體類型（M）

3.3.4 抽真空\充氮氣能力（M） 3.3.7 兩種自動貼標能力（M） 3.3.8 自動折袋能力（M） 3.3.19 工具內部狀態監控攝影機（M）

3．3．4 Capability for 抽真空\＆充氮氣（M）

3．3．7 Capability for 兩種自動貼標（M）

3．3．8 Capability for 自動折袋（M）

3．3．19 Camera for tool inside status monitor（M）

2024／06／14

1.3

Ting Han Hsiao Tsung Che Huang

Align AP FOUP／FOSB Cassette APK Spec

2024／10／11

1.4

P．Lee I Hsuan Hsu
P． Lee I Hsuan Hsu

3．3．1 包裝載體類型（M） 3．3．9 最大包裝及結合機移動量（M） 3．3．12 自動包裝及結合機最大輸入／輸出儲存緩衝區（M） 3．3．14 振動規格 3．3．19 工具內部狀態監控攝影服務 AMHS 工程師官方訓練（M）

3．3．1 Packing Carrier type（M）

3．3．9 Maximum packing and 結合機 move（M）

3．3．12 Auto packing and 結合機 Maximum Input／Output storage buffer（M）

3．3．14 Vibration spec

3．3．19 Camera for tool inside status monitor（M）

3．5．8 Acceptance test procedure（M）

3．6．2 Maintenance service requirement（M）

3．6．3 Official training for tsmc AMHS engineer（M）

TABLE OF CONTENTS 目錄

3．1 Preface … 5
3．1．1 What is this document … 5
3．1．1 這是什麼文件... 5
3．1．2 Who should read this document … 5
3．1．2 誰應該閱讀本文件... 5
3．1．3 Related documents … 5
3．1．3 相關文件...5
OTHER ITEM WHICH ARE NOT SPECIFIED IN THIS DOCUMENT SHOULD COMPLY WITH SEMI STANDARD3．2 PURPOSE … 5
本文件中未指定的其他項目應符合 SEMI 標準 3．2 目的 … 5
3．2．1 Scope … 6
3．2．2 Constraints … 6
3．2．3 Definitions，Acronyms and Abbreviations … 6
3．2．3 定義、縮寫與縮寫 ………………………………………………………………………………………… 6
3．2．4 Requirements Gathering and Analysis Methodology … 6
3．2．4 需求收集與分析方法... 6
3．2．5 Requirements Traceability … 6
3．2．5 需求可追溯性... 6
3．2．6 Auto Packing Device Project Schedule … 6
3．2．6自動包裝裝置工程進度計畫…6
3．3 Design Requirement … 7
3．3．1 Packing Carrier type（M） … 7
3．3．1 包裝載體類型（M） … 7
3．3．2 Capability for two kinds of bag（M） … 7
3．3．2 兩種袋容量（M） … 7
3．3．3 Capability for 乾燥劑自動入袋（M） … 7
3．3．4 Capability for 抽真空\＆充氮氣（M） … 8
3．3．5 Capability for Info pad（RFID）垅取（M） … 8
3．3．5 資訊板（RFID）取資訊能力（M） … 8
3．3．6 Capability for 包裝袋自動封口（M） … 9
3．3．7 Capability for 兩種自動战標（M） … 9
3．3．8 Capability for 自動折袋（M） … 9
3．3．8 自動折袋（M）能力 … 9
3．3．9 Maximum packing and 結合機 move（M） … 10
3．3．9 最大裝箱及結合機移動（M） … 10
3．3．10 Maximum Tool Dimension（

M

） … 10
3．3．10 Maximum Tool Dimension（

M

） … 10
3．3．11 Seismic specification certification（M） … 10
3．3．11 抗震規範認證（M） … 10
3．3．12 Auto packing and 結葍機 Maximum Input／Qutput storage buffer（M） … 10
3．3．12 Auto packing and 結葍機 Maximum Input/Qutput storage buffer（M） … 10
3．3．13 Auto packing and 結合機load port Design（M） … 10
3．3．13 Auto packing and 結合機 load port Design（M） … 10
3．3．14 Auto Packing and 結合機 Running Vibration spec（M） … 11
3．3．15 Auto Packing Running Noise（M） … 11
3．3．15 自動包裝運轉噪音（M） … 11
3．3，16 Cleanliness for Auto Packing（M） … 11
3．3，16 自動包裝清潔度（M） … 11
3．3．17 EMI for Auto Packing（M） … 11
3．3．17 汽車包裝電磁幹擾（M） … 11
3．3．18 RFID \＆Barcode Reader（M）． … 12
3．3．19 Camera for tool inside status monitor（

M

） … 12
3．3．19 刀具內部狀態監視器攝影機（

M

） … 12
3．3．20 Box drop prevention design（M） … 12
3．3．21 Semi－S2 Certification and Seismic report（M） … 12
3．3．21 半 S2 認證及抗震報告（M） … 12
3．3．22 Auto Packing reliability（M） … 13
3．3．22 自動包裝可靠性（M） … 13
3．3．23 Move in route requirement ． … 13
3．3．23 遷入路線要求． … 13
3．3．24 Tool Weight Density Constraint（M） … 13
3．3．24 刀具重量密度約束（M） … 13
3．3．25 Cover material（M） … 13
3．3．25 覆蓋材料（M） … 13
3．3．26 Safety temperature（M） … 13
3．3．26 安全溫度（M） … 13
3．3．27 ESD Prevention（M） … 14
3．3．28 結合機對應 tray dimension（（M）錯誤尚末定義畵簕。
3．3．29 結合機放緽 FOUP／FOSB 到對應Tray（M） … 14
3．3．30 結合機 reliability（M）錯誤！尚末定義書嶽。
3．4 System Function Requirement … 15
3．4系統功能需求... 15
3．4．1 Auto Packing information for alarm log（M） … 15
3．4．1 自動包裝訊息警報日誌（M） … 15
3．4．2 Synchronization function between MES and all local controller（M） … 15
3．4．2 MES 與各本地控制器（M）的同步功能 … 15
3．4．3 Pre－alarm system（M） … 15
3．4．4 MA fee support TSMC propose new function idea（M） … 15
3．4．4 MA 費用支援台積電提出新功能構想（M） … 15
3．4．5 Controller server loading have to less than

40 % (M)

… 16
3．4．5 控制器伺服器負載必須小於

40 % (M)

…16
3．4．6 Analysis tool for performance or reliability checking（

M

） … 16
3．4．6 性能或可靠性檢查分析工具（

M

）… 16
3．4．7 Unique account，password and level control for all controllers（M） … 16
3．4．7 所有控制器唯一的帳號、密碼及等級控制（M） … 16
3．4．8 Fast recovery function（M） … 16
3．4．8 快速恢復功能（M） … 16
3．4．9Real time monitor function（

M

） … 16
3．4．9 即時監控功能（

M

） … 16
3．4．10 Bag selection function（M） … 17
3．4．10 袋子選擇功能（M） … 17
3．4．11 Label selection function（M）錯誤！尚末定義書樴。
3．4．11 標籤選擇功能（M）錯誤！尚末定義書樴。
3．4．12 Anti－Virus S／W（M） … 17
3．4．12 Anti－Virus S/W（M） … 17
3．4．13 Auto Recipe Function（M） … 17
3．5 Installation Requirement … 18
3．5．1 Installation requirement（

M

） … 18
3．5．1 Installation requirement（

M

） … 18
3．5．2 Quality Requirement（M） … 18
3．5．2 品質要求（M）…18
3．5．3 Auto Packing Requirement（

M

） … 18
3．5．3 自動打包要求（

M

） … 18
3．5．4 Operation buttons must have cover or protected solution（M） … 19
3．5．4 操作按鈕必須有蓋或保護溶液（M） … 19
3．5．5 The parts deliver time on schedule（

M

） … 19
3．5．5 零件按時交貨（

M

） … 19
3．5．6 The Move In Parts AMC Control Spec（M） … 19
3．5．7 The Rules for Parts Move In（M） … 19
3．5．7 零件進場規則（M） … 19
3．5．8 Acceptance test procedure（

M

） … 20
3．5．8 Acceptance test procedure（

M

） … 20
3．6 System Maintenance Requirement … 21
3．6 系統維護需求... 21
3．6．1 Detail System spec and maintenance document（

M

） … 21
3．6．1 詳細系統規格及維護文件（

M

）… 21
3．6．2 Maintenance service requirement（M） … 21
3．6．3 Official training for tsmc AMHS engineer（

M

） … 21
3．6．3 Official training for tsmc AMHS engineer（

M

） … 21
3．6．4 Maintenance tools，Jig，software and accessories（M） … 21
3．6．4 維護工具、夾具、軟體及配件（M） … 21
3．6．5 Spare parts list／Parts supply service（M） … 22
3．6．6 Quickly Auto Packing maintenance solution（M） … 22
3．6．6 快速自動包裝維護解決方案（M） … 22
3．6．7 Qualified Engineer（M） … 22
3．6．7 合格工程師（男） … 22
3．6．8 Revise PM check list and frequency（M） … 22
3．6．8 修改 PM 檢查表及頻率（M） … 22
3．6．9 MA Cost Forecast for Future 10 years（M） … 22
3．6．9 未來 10 年 MA 成本預測（M） … 22
3．6．10 Warranty define（M） … 23
3．6．11 Parts management（M） … 23

3.1 Preface

3.1.1 What is this document
3.1.1 這是什麼文件

This document is to request vendor to provide their system capability, ability, functionality, specification and other related information for quotation process and vendor selection.
本文件旨在要求供應商提供其係統能力、功能、規格和其他相關信息，以供報價流程和供應商選擇。

3.1.2 Who should read this document
3.1.2 誰應該閱讀本文檔

All stakeholders of AUTO PACKING DEVICE project, including
自動包裝設備專案的所有利害關係人，包括

3．2 Purpose 3．2 目的

1．Delivery TSMC＇s request to vendor for system capability，ability，functionality， specification，and other related information
1．向供應商傳達台積電對系統能力、性能、功能、規格及其他相關資訊的要求
2．Collect vendor＇s quotation and use this document in TSMC for price negotiation
收集供應商的報價單，並使用此文件在台積電進行價格談判
3．Key reference for vendor selection
3.供應商選擇的關鍵參考

3．2．1 Scope 3．2．1 範圍

Category 類別

Description 描述

Project is 項目是

1．提供產品資料及設計規格。 2．提供系統功能及能力。

1．Provide product data and design spec．

2．Provide system function and ability

3．2．2 Constraints 3．2．2 約束

All existed functions in

300 mm / APOD / SoIC

fabs should be kept or improved in AUTO PACKING DEVICE．
自動包裝設備應保留或改善

300 mm / APOD / SoIC

工廠現有的所有功能。

3．2．3 Definitions，Acronyms and Abbreviations
3．2．3 定義、縮寫和縮寫

Abbreviation 縮寫	Business Terms 商業條款
RFQ	Request for Quotation 詢價
RFP	Request forricoposal 請求 ricoposal
QR	Quotation Request 報價請求
PR	Purchase Request 採購請求
PO	Purchase Order 採購訂單

3．2．4 Requirements Gathering and Analysis Methodology
3．2．4 需求收集與分析方法

Requirements are gathered from Auto Packing internal meeting with IMC，MFG．
需求是從與 IMC、MFG 的自動包裝內部會議中收集的。

3．2．5 Requirements Traceability
3．2．5 需求可追溯性

Assign a number for each request．By this way，all requests can be easily traced each system＇s design，installation and maintenance status at system implement phase．
為每個請求分配一個編號，這樣，在系統實施階段，所有請求都可以輕鬆追蹤每個系統的設計、安裝和維護狀態。

3．2．6 Auto Packing Device Project Schedule
3．2．6 自動包裝裝置專案進度計劃

1．Manufacturing Lead time＜ 6 month
1.製造週期＜6個月
2．Move in：依 tsmc 需求
2． Move in：依 tsmc 需求
3．Installation time period：＜30 days 旭東自主安㱔 30 個工作天
4．Release time：依 tsmc 需求
4．發佈時間：根據 tsmc 需求

3．3 Design Requirement 3．3 設計要求

This is to make sure the final system transport capacity and performance can fulfill system design requirement in production environment．
這是為了確保最終系統的傳輸容量和性能能夠滿足生產環境中的系統設計要求。

3．3．1 Packing Carrier type（M）
3．3．1 包裝載體類型（M）

Item 物品

Description 描述

SC－01－Capability for 300 mm FOUP／FOSB Carrier type
SC－01－適用於 300mm FOUP／FOSB 載具類型

Purpose 目的

Define operation mode for carrier type．
定義載體類型的操作模式。

Request 要求

自動包裝設備需支援 300 mm FOUP／FOSB 封裝，酬載 20KG。 2． FOUP/FOSB 除載體資訊外，需要雙重校驗機制。

1．Auto Packing device should support 300 mm FOUP／FOSB package with payload 20KG

2．FOUP／FOSB need double check mechanism except carrier information．

Acceptance Criteria 驗收標準

Function test 功能測試

Vendor＇s feedback （Accept，Reject）
供應商回饋（Accept，Reject）

2．透過AML提供資訊

3．3．2 Capability for two kinds of bag（M）
3．3．2 兩種袋容量（M）

Item 物品

Description 描述

SC－02－Capability for two kinds of bag．
SC－02－可容納兩種袋子。

Purpose 目的

Define operation mode for two kinds of bag．
定義兩種袋子的操作模式。

Request 要求

1．All of the Auto Packing device should support two kinds of bag．

鋁袋：須符合台積規範尺寸

抗靜電袋：須符合台積規範尺寸

2．每台機台共四個袋槽，每個袋槽可容納＞＝ 50 pcs 的包裝袋，補袋不停機

3．補料方式人員將抽履拉出進行補料

4．機台需有取錯袋自動偵測的機制（設置在靠位平台）

FOUP／FOSB 折袋向下；膠帶下貼

Acceptance Criteria 驗收標準

Function test after installation completed
安裝完成後功能測試

Vendor＇s feedback （Accept，Reject）
供應商回饋（Accept，Reject）

可業擫短袋尺寸

420 (W) \times 830 (L) mm

，源開高度 365 mm ，公

（同AP2需求）（同 AP2 需求）

3．3．3 Capability for 乾燥劑自動入袋（M）

Item 物品

Description 描述

SC－03－Capability for 乾燥劑自動入袋

Purpose 目的

Define 乾燥劑功能需求

Request 要求

1．Auto packing with 乾燥劑自動入袋 function

2．乾燥劑 Buffer＞＝80，補料不停機


Acceptance Criteria 驗收標準	Function test after installation completed 安裝完成後功能測試
Vendor＇s feedback （Accept，Reject）供應商回饋（Accept，Reject）	8．乾燥包放置第三包有掉落偊險

3．3．4 Capability for 抽真空\＆充氮氣（M）

Item 物品

Description 描述

SC－04－Capability for 抽鼻空\＆免裳醋

Purpose 目的

Define 抽真㝡 8 弃氮讶，功能需求
Define 抽真㝡8 棄氮用，功能需求

Request 要求

椾Auto packing with 抽真空功能

2．抽真空模式可由User選擇（秒數控制／壓力控制）

3．抽真空秒數／壓力可由 User 自由設定並存成 Recipe

4．充氮氣時閽䣦由User自由設定並存成 Recipe（不卡 tact time）

5．抽真空需有真空流量監控（相關數據需能上報TAP）

6．生產相關參數可由 User 設定 spec，異常時，機台需發出警報（抽真空秒數／壓力／流量／熱封溫度）

1．生產相關參數要上傳至TAP系統（抽真空秒數／壓力／流量／熱封溫度）

Acceptance Criteria 驗收標準

Function test after installation completed
安裝完成後功能測試

Vendor＇s feedback （Accept，Reject）
供應商回饋（Accept，Reject）

积和積和

3．3．5 Capability for Info pad（RFID）拔取（M）
3．3．5 資訊板功能（RFID）拔除（M）

lten 伊滕

Description 描述

SC－05－Capability for Info pad（RFID）詙取
SC－05－資訊板（RFID）取得能力

Purpose 目的

Define RFID 拔取功能需求 Define RFID 拔除功能需求

Request 要求

1．Auto packing with Info pad（RFID）

2、拔取功能Info pad（RFID）拔取功能開關可自由設定，並存成 Recipe

Acceptance Criteria 驗收標準

Function test after installation completed
安裝完成後功能測試

Vendor＇s feedback （Accept，Reject）
供應商回饋（Accept，Reject）

僅適用MW－300GT

3．3．6 Capability for 包裝袋自動封口（M）

Item 物品

Description 描述

SC－06－Capability for 包裝袋自動封口

Purpose 目的

Define 包裝袋自動封口功能需求

Request 要求

1．封口寬度

>= 6 mm

2．封口溫度

0 \sim 250^{\circ} C

需可調（相關數據需能上報 TAP）

3．封口時間分為加熱時間與靜置時間，需可分別設定

4．多道式熱封

Acceptance Criteria 驗收標準

通過 72 小時紅墨水氣密測試

Vendor＇s feedback （Accept，Reject）
供應商回饋（Accept，Reject）

3．3．7 Capability for 一種自動貼標（M）

Item 物品

Description 描述

SC－07－Capability for 自動貼標
SC－07－自動貼標能力

Purpose 目的

Define 自動貼標功能需求

Request 要求

1．標籤尺寸：

（1）尺寸 135（L）

\times 75

（W）mm，Labe 䊅捲寬度為 140 mm ，Printer，可列印窅度：

130 mm ，Label 料捲數量 2 捲 6 研帶數量 2 捲

2m貼標位蒖

3．貼標精度

≦ \pm 10 mm

4．白底黑字，機台要與台積系統連線決定列印資訊

5．標籤資料比對，除了印標完整度確認，需與站點資訊、交差比對，確認標籤正確性。

Acceptance Criteria 驗收標準

Function test after installation completed
安裝完成後功能測試

2Vendor＇s feedback （Accept，Reject）
2賣家回饋（接受，拒絕）

3．3．8 Capability for 自動折袋（M）
3．3．8 自動折袋能力（M）

Item 物品

Description 描述

SC－08－Capability for 自動折袋
SC－08－自動折袋功能

Purpose 目的

Define 自動折袋功能需求

Request 要求

1．折袋方式：封口處下厉以固定於 FOSB 門板面

2．貼膠方式：以垂直方式貼覆2條膠帶於FOSB門板面及底部

3．膠帶尺寸：須符合台積規範尺寸

Acceptance Criteria 驗收標準

Function test after installation completed
安裝完成後功能測試

2Vendor＇s feedback 2供應商的回饋

◻

（Accept，Reject）（接受，拒絕）

3．3．9 Maximum packing and 結合機 move（M）
3．3．9 最大裝箱及結合機移動（M）

ltem 物品	Description 描述
ID	SC－09－Maximum packing move SC－09－最大包裝移動量
Purpose 目的	Ensure auto packing maximutr move 確保自動包裝最大移動
Request 要求	Peak auto packing move $>= 35 MPH$ with continuous run． Peak auto packing move（with 結合機）＞＝＝ 35 MPH with continuous run．自動打包動作峰值 $>= 35 MPH$ 持續運作。自動打包動作峰值（含合成機）＞＝＝ 35 MPH 持續運作。
Acceptance Criteria 驗收標準	As same as simulation result with pre－defined condition \＆assumption 與預定義條件和假設的模擬結果相同
Vendor＇s feedback （Accept，Reject）供應商回饋（Accept，Reject）

3．3．10 Maximum Tool Dimension（M）
3．3．10 最大刀具尺寸（M）

lem 萊姆	Description 描述
ID	SC－10－Maximum tool dimension SC－10－最大刀具尺寸
Purpose 目的	Ensure auto packing tool and 結合機 dimension 確保自動包裝工具及結合機尺寸
Request 要求	依現場實際空間設計機合大小
Acceptance Criteria 驗收標準	Design check 設計檢查
Vendor＇s feedback （Accept，Reject）供應商回饋（Accept，Reject）

3．3．11 Seismic specification certification（M）
3．3．11 抗震規範認證（M）

lem 萊姆	Description 描述
ID	SC－11－Seismic specific certification SC－11－抗震專案認證
Purpose 目的	Define seismic specification certification 定義抗震規範認證
Request 要求	All systems need to meet seismic spec，and certified by 3rd party．所有系統均需符合抗震規範，並經第三方認證。
Acceptance Criteria 驗收標準	Need to pass newest spec（TBC2022）and approved by artificer 需通過最新規範（TBC2022）並經技師認可
Vendor＇s feedbáck （Accept，Reject）供應商回饋（Accept，Reject）

3．3．12 Auto packing and 結合機 Maximum Input／Output storage buffer（M）
3．3．12 自動打包組合最大輸入／輸出儲存緩衝區（M）

ltem 物品

Description 描述

SC－12－Auto packing and 結合機 Maximum input／output storage buffer
SC－12－自動裝填接合機最大輸入/輸出儲存緩衝區

Purpose 目的

Ensure system maximum storage buffer capacity expansion
確保系統最大限度的擴充儲存緩衝區容量

Request 要求

1．自動打包入埠設備儲存的緩衝區個數應為

>= 2

2．自動打包出連接埠設備儲存的緩衝區個數應為

>= 5

自動包裝

3 一個

輸出埠設備儲存 Buffer 數量應＞＝4

1．Auto packing In port device storage Buffer number should

>= 2

2．Auto packing Out port device storage Buffer number should

>= 5

3．Auto packing with

3 A

Out port device storage Buffer number should＞＝4

Acceptance Criteria 驗收標準

As same as simulation result with pre－defined condition \＆assumption
與預定義條件和假設的模擬結果相同

Vendor＇s feedback （Accept，Reject）
供應商回饋（Accept，Reject）

3．3．13 Auto packing and 結合機 load port Design（M）
3．3．13 自動包裝耦合機裝料口設計（M）

ID	SC－13－Auto packing I and 結合機 load port design SC－13－自動包裝 I 及結合機載口設計
ID	Ensure system maximum load port capacity expansion．確保系統最大負載連接埠容量擴展。
Purpose 目的	1．Auto packing in port device load port number $= 2$ 1．自動打包入港設備負載埠號 $= 2$
Request 要求

2．自動裝箱入港設備裝載口，附模式切換功能（自動＜＞維護（手動）；E84 功能） 3．自動裝箱出港設備裝載口編號＝ 2（獨立 APK） 4．自動裝箱出港設備裝載口為手動模式（獨立 APK） 5．自動裝箱裝填口帶導針固定 FOUP／FOSB 位置 6．自動裝箱口帶 RFID 閱讀器取得承運商資訊 7．自動裝箱口可安裝 E84 或與機器人／輸送機／OHT 連接的 IO 模組 8．自動裝箱入港過線高度必須符合半 S2 要求 9．自動裝箱出港過線高度必須符合半 S2 要求（獨立 APK） 9．自動裝箱出港設備裝載埠為自動模式/手動模式（需與結合機串接的功能）～需考慮 ASRS 或結合機當機時的手動取貨作業 10．結合機自動出港功能：與自動裝箱對接 11．結合機出料口與 AS／RS 對接 12．結合機出料口高度必須符合自動包裝要求 13．結合機出料口高度必須符合 AS/RS 要求

2．Auto packing in port device load port with mode switch function（Auto＜＞

Maintain（manual）；E84 功能）

3．Auto packing out port device load port number＝ 2 （standalone APK）

4．Auto packing out port device load port is manual mode（standalone APK）

5．Auto packing load port with guide pin to fix FOUP／FOSB location

6．Auto packing in port with RFID reader to get carrier information

7．Auto packing In port capable to install E84 or IO module to connect with robot／conveyor／OHT

8．Auto packing in port pass line height must follow semi S2 requirement

9．Auto packing out port pass line height must follow semi S2 requirement（standalone APK）

9．Auto packing out port device load port is auto mode／manual mode（需與結合機串接的功能）～需考量 ASRS or 結合機當機時的手動取貨作業

10．結合機 auto port function：與 auto packing docking

11．結合機出料口與 AS／RS Docking

12．結合機 In port pass line height must meet Auto packing

13．結合機 Out port pass line height must meet AS／RS

Acceptance Criteria 驗收標準

As same as simulation result with pre－defined condition \＆assumption．
與預先定義條件和假設的模擬結果相同。

Vendor＇s feedback （Accept，Reject）
供應商回饋（Accept，Reject）

3．3．14 Vibration spec（M）
3．3．14 振動規格（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SC－14－Auto Packing Running Vibration spec SC－14－自動包裝運轉振動規格
Purpose 目的	mprove Auto Packing quality 提高自動包裝品質
Request 要求	1．Confirm Auto Packing running vibration＜0．3G 1．確認自動包裝運轉振動＜0．3G
Acceptance Criteria 驗收標準	Vibration meter test before system release．系統發布前進行振動計測試。
Vendor＇s feedback （Accept，Reject）供應商回饋（Accept，Reject）

3．3．15 Auto Packing Running Noise（M）
3．3．15 自動包裝運轉噪音（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SC－15－Auto Packing Running noise SC－15－自動包裝運轉噪音
Purpose 目的	Improve Auto Packing quality 提高自動包裝品質
Request 要求	Decrease Running noise（under 72 db ）降低運轉噪音（72分貝以下）
Acceptance Criteria 驗收標準	Noise test before system release 系統發布前的噪音測試
Vendor＇s feedback （Accept，Reject）供應商回饋（Accept，Reject）

3．3．16 Cleanliness for Auto Packing（M）
3．3．16 自動包裝潔淨度（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SC－16－Cleanliness for Auto Packing SC－16－自動包裝清潔度
Purpose 目的	Improve Auto Packing quality 提高自動包裝品質
Request 要求	1．Cleanliness requirement for Auto Packing is class 100. 1．自動包裝潔淨度要求為100級。
Acceptance Criteria 驗收標準	Cleanliness test before system release 系統發布前清潔測試
Vendor＇s feedback （Accept，Reject）供應商回饋（Accept，Reject）

3．3．17 EMI for Auto Packing（M）
3．3．17 汽車包裝 EMI（M）

ID	SC－17－EMI for Auto Packing SC－17－汽車包裝 EMI
Purpose 目的	Improve Auto Packing quality 提高自動包裝品質
Request 要求	EM］（Electro Magnetic Interference）requirement for Auto Packing is less than 20 mG ．自動包裝的電磁幹擾（EM）要求小於 20mG．
Acceptance Criteria 驗收標準	EMI test before system release 系統發布前的 EMI 測試
Vendor＇s feedback （Accept，Reject）供應商回饋（Accept，Reject）

3．3．18 RFID \＆Barcode Reader（M）
3．3．18 RFID 及條碼閱讀器（M）

Item 物品

Description 描述

SC－18－Required barcode reader
SC－18－所需條碼閱讀器

Purpose 目的

Define barcode reader quantity，location and reliability
定義條碼讀取器的數量、位置和可靠性

Request 要求

1．負載口需安裝 RFID 閱讀器 2．判標模組需安裝自動條碼閱讀器 3． RFID\條碼閱讀器讀取成功率＞99．95\％

1．load port need to install RFID reader

2．判標模組 need to install auto barcode reader

3．RFID \＆Barcode reader 讀取成功率＞99．95\％

Acceptance Criteria 驗收標準

Function test after installation completed
安裝完成後功能測試

Vendor＇s feedback （Accept，Reject）
供應商回饋（Accept，Reject）

和

3．3．19 Camera for tool inside status monitor（M）
3．3．19 刀具內部狀態監控攝影機（M）

Item 物品

Description 描述

SC－19．Camera for tool inside status monitor
刀具內部狀態監控攝影機

Purpose 目的

AFor tool＇statis real time monitor
A 用於刀具狀態即時監控

Request 要求

1．2．

>= 8

設定 tod 內部攝影機作為關鍵零件監控 2．影像需可儲存大於 7 天

1．2．

>= 8

set camera inside of tod for key component monitor

2．影像需可儲存大於7天

Acceptance Criteria 驗收標準

Function test after installation completed
安裝完成後功能測試

Vendor＇s feedback （Accept，Reject）
供應商回饋（Accept，Reject）

c^{c c^{c}}

\％

3．3．20 Box drop prevention design（M）
3．3．20 箱體防掉落設計（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SC－20－Box drop prevention design SC－20－箱體防掉落設計
Purpose 目的	Ensure FOUP／FOSB 100\％safe inside of tool 確保 FOUP/FOSB 在工具內部 100％安全
Request 要求	All FOUP／FOSB moving path inside tool should be fully protected by cover or guide． Zero box drop risk．所有 FOUP/FOSB 在工具內的移動路徑應受到蓋板或導軌的充分保護。零盒子掉落風險。
Acceptance Criteria 驗收標準	Function test after installation completed 安裝完成後功能測試
Vendor＇s feedback （Accept，Reject）供應商回饋（Accept，Reject）

3．3．21 Semi－S2 Certification and Seismic report（M）
3．3．21 半 S2 認證及抗震報告（M）

ltem 物品

Description 描述

SC－21－Semi－S2 certification and seismic report
SC－21－Semi－S2 認證及抗震報告

Purpose 目的

Ensure tool design fulfill tsmc safety requirements
確保工具設計符合台積電的安全要求

Request 要求

1. 工具設計必須透過

3^{路}

party semi－s2 認證 2．工具設計必須提供第三方抗震報告。（TBC 規範：2022）

1．Tool design must pass

3^{rd}

party semi－s2 certification

2．Tool design must provide 3 rd party seismic report．（TBC code ：2022）

Acceptance Criteria 驗收標準

As same as simulation result with pre－defined condition \＆assumption
與預定義條件和假設的模擬結果相同

Vendor＇s feedback （Accept，Reject）
供應商回饋（Accept，Reject）

1．Continue to use FI2P3 APK semi－s2 certification．
1．繼續使用 FI2P3 APK semi－s2 認證。

3．3．22 Auto Packing reliability（M）
3．3．22 自動包裝可靠性（M）

Item 物品

Description 描述

SC－22－Packing reliability
SC－22－包裝可靠性

Purpose 目的

Reduce production line impact
減少生產線影響

Request 要求

1．

MCBI > 2000

，

平均血流量 > 7000

中斷定義：刀具本身所引起的警報，使刀具停止 3．故障定義：警報在 30 分鐘內無法恢復

1．

MCBI > 2000

，

MCBF > 7000

2．Define of Interrupt：Alarm caused by tool itself and make tool stop

3．Define of failure：Alarm cannot be recovered within 30 min

Acceptance Criteria 驗收標準

Function test after installation completed
安裝完成後功能測試

Vendor feedback （Accept，Reject）
賣家回饋（接受，拒絕）

Release後，交通過 8 周的流箱或
3．3．23 Move in route requireme部通過MCBF 7000 的數量，當任一條件先達成即達標。

Item 物品	Description 描述
ID	SC－23－Move in route requirement SC－23－遷入路線要求
Purpose 目的	Define Move in route requirement 定義移動路線需求
Request 要求	依現場實際空間（請預先派員 site check move in 路徑／高度）
Acceptance Criteria 驗收標準	Design Review 設計評審
Vendor＇s feedback （Accept，Reject）供應商回饋（Accept，Reject）

3．3．24 Tool Weight Density Constraint（M）
3．3．24 刀具重量密度約束（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SC－24－Tool Weight SC－24－工具重量
Purpose 目的	Make Sure floor loading can cover tool weight 確保地板負載能夠覆蓋工具重量
Request 要求	Toot weight density must＜ $700 kg / m 2$ 嘟嘟體重密度必須＜ $700 kg / m 2$
Acceptance Criteria 驗收標準	Design Review 設計評審
Vendor feedback （Accept，Reject）賣家回饋（接受，拒絕）

3．3．25 Cover material（M）
3．3．25 封面材料（M）

Item 物品

Description 描述

SC－25－Cover material SC－25－覆蓋材料

Purpose 目的

6s and cover material
6s 和封面材料

Request 要求

所有工具外殼應符合以下條件： 1．防刮傷表面材料 2．防反射表面材質 3．防靜電表面材質 4．外殼顏色由 tsmc 指定

All the tool outer cover should meet below item

1．Anti－scratch surface material

2．Anti－reflection surface material

3．Anti－static surface material

4．外殼顏色由 tsmc 指定

Acceptance Criteria 驗收標準

Design Review 設計評審

Vendor feedback （Accept，Reject）
賣家回饋（接受，拒絕）

3．3．26 Safety temperature（M）
3．3．26 安全溫度（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SC－26－Safety temperature SC－26－安全溫度
Purpose 目的	Auto packing device work on safety temperature 自動包裝裝置在安全溫度下運作
Request 要求	All components working temperature should meet tsmc safety guard request（ $< 60^{\circ} C$ ）所有元件工作溫度均需滿足台積電安全防護要求（ $< 60^{\circ} C$ ）
Acceptance Criteria 驗收標準	Function test after installation completed 安裝完成後功能測試
Vendor feedback （Accept，Reject）賣家回饋（接受，拒絕）

3．3．27 ESD Prevention（M）
3．3．27 靜電防護（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SC－27－ESD Prevention SC-27-ESD 預防
Purpose 目的	Auto packing device is ESD Prevention 自動包裝設備防靜電
Request 要求	Equipment must be grounded and equipped lonizer in Inport 設備必須接地，並在進口處配備離子產生器
Acceptance Criteria 驗收標準	All equipment must be grounded with tsmc＇s system to reduce filtering and ESD．所有設備必須採用台積電的系統接地，以減少濾波和 ESD。
Vendor feedback （Accept，Reject）賣家回饋（接受，拒絕）

3．3．28 結合機放置 FOUP／FOSB 到對應 Tray（M）

Item 物品

Description 描述

SC－28－結合機放置 FOUP／FOSB 到對怎 Tray

Purpose 目的

FOUP／FOSB 放置於 Tray 箱數量 \＆方向
FOUP／FOSB 電影於 Tray 箱數量\＆方向

Request 要求

1．每個 tray 盒可放置 FOUP／FOSB 數

<= 2

2．FOUP 香菇頭朝上，門板方向朝向Tray盒左右兩側

3．FOSB門板方向朝上香菇頭朝向Tray盒左右兩側。

Acceptance Criteria 驗收標準

Function test after installation completed
安裝完成後功能測試

Vendor feedback （Accept，Reject）
賣家回饋（接受，拒絕）

中閞震商讐板

3．4 System Function Requirement
3．4 系統功能需求

This is to make sure the Auto Packing controller can execute required function to meet better transport performance in production environment．
這是為了確保自動包裝控制器能夠執行所需的功能，以滿足生產環境中更好的運輸性能。

3．4．1 Auto Packing information for alarm log（M）
3．4．1 警報日誌自動打包訊息（M）

Item 物品

Description 描述

SF－01－Auto Packing information for alarm log
SF－01－警報日誌的自動包裝訊息

Purpose 目的

Can get more information from local controller（Database）
可以從本地控制器（資料庫）獲取更多信息

Request 要求

本機控制器通電時間、警報 ID、位置資訊、警報訊息及復原程序。 2．裝卸計數／感測器訊號/速度/日常維護作業資訊及零件生命週期。 3．耗材資訊。例如：包裝袋餘額。

1．Local controller pass time，Alarm ID，location information，alarm information \＆ recover procedure．

2．Load \＆unload count／Sensor signal／speed／daily service jobs information and parts lifecycle．

3．Consuming material information．Ex：Balance qty of packing bag．

Acceptance Criteria 驗收標準

Check final output result
檢查最終輸出結果

Vendor feedback （Accept，Reject）
賣家回饋（接受，拒絕）

3．4．2 Synchronization function between MES and all local controller（M）
3．4．2 MES 與各本機控制器同步功能（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SF－02－Synchronization function between MES or upper system SF－02－MES 與上位系統同步功能
Purpose 目的	For abnormal handle more smoothly 對於異常處理更加順暢
Request 要求	Can synchronize lot information for all Auto Packing device．可同步所有自動包裝設備的批號資訊。
Acceptance Criteria 驗收標準	On line test 線上測試
Vendor feedback （Accept，Reject）賣家回饋（接受，拒絕）

3．4．3 Pre－alarm system（M）
3．4．3 預警系統（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SF－03－Pre－alarm system SF-03-預警系統
Purpose 目的	For abnormal case pre－warning 異常狀況預警
Request 要求	When reach system limitation，controller can sent warning message to user（ex：port setting reach limitation，database capacity，袋子／乾燥劑存量＜ 30 ．．．etc．）當達到系統限制時，控制器可以向使用者發送警告訊息（例如：連接埠設定達到限制、資料庫容量、袋子/乾燥劑存量< 30．等）
Acceptance Criteria 驗收標準	On line test 線上測試
Vendor feedback （Accept，Reject）賣家回饋（接受，拒絕）

3．4．4 MA fee support TSMC propose new function idea（M）
3．4．4 MA 費用支持台積電提出新功能構想（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SF－04－MA fee support TSMC propose new function idea SF－04－MA 費用支持台積電提出新功能構想
Purpose 目的	Co－work model with supplier and user 供應商與使用者的合作模式
Request 要求	Supplier have to support user to develop relative new function／improve item／regular update at controller during warranty，out of warranty should be within consistent price during 3 years（after warranty）保修期間廠商需支援用戶開發相關新功能／改良項目／定期更新控制器，保期外三年內（保證後）價格維持不變。
Acceptance Criteria 驗收標準	Confirm with purchase department 與採購部門確認
Vendor feedback （Accept，Reject）

3．4．5 Controller server loading have to less than $40 % (M)$
3．4．5 控制器伺服器負載必須小於 $40 % (M)$

Item	Description
ID	SF－05－Controller server loading have to less than 40\％ SF－05－控制器伺服器負載必須小於 40％
Purpose	Keep stable system for production line 保持生產線系統穩定
Request 要求	All controller server loading have to less than 40\％under normal situation，can not over 60\％under peak status 所有控制器伺服器負載正常情況下不得超過40％，峰值情況下不得超過60％
Acceptance Criteria 驗收標準	On line test
Vendor feedback （Accept，Reject）賣家回饋（接受，拒絕）

3．4．6 Analysis tool for performance or reliability checking（M）
3．4．6 性能或可靠性檢查分析工具（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SF－06－Analysis tool for performance or reliability checking［All Controller］ SF－06－效能或可靠性檢查分析工具［所有控制器］
Purpose 目的	For controller function performance check 用於控制器功能性能檢查
Request 要求	Provide monitor and analysis tool for user，and this tool can monitor controller function performance or reliability 為使用者提供監控和分析工具，該工具可以監控控制器的功能效能或可靠性。
Acceptance Criteria 驗收標準	On line test
Vendor feedback （Accept，Reject）賣家回饋（接受，拒絕）

3．4．7 Unique account，password and level control for all controllers（M）
3．4．7 所有控制器唯一的帳號、密碼及等級控制（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SF－07－Unique account，password and level control for all controllers SF－07－所有控制器統一的帳號、密碼及等級控制
Purpose 目的	For user management
Request 要求	Different user account login can have different function，and this difference of authority can setting by user 不同的使用者帳號登入可以擁有不同的功能，而這種權限的差異可以由使用者自行設定。
Acceptance Criteria 驗收標準	On line test
Vendor feedback （Accept，Reject）賣家回饋（接受，拒絕）

3．4．8 Fast recovery function（M）
3．4．8 快速恢復功能（M）

ltem 物品

Description 描述

SF－09－Fast recovery function
SF－09－快速恢復功能

Purpose 目的

For abnormal case fast recovery function
針對異常狀況的快速恢復功能

Request 要求

包裝設備清單快速檢查 2．所有系統參數備份及快速回滾整體系統復原時間目標：小於0.5小時

1．Packing device inventory fast check

2．All the system parameter backup and fast rollback Overall system recovery time target：less than 0.5 hr

Acceptance Criteria 驗收標準

On－site function test 現場功能測試

Vendor feedback （Accept，Reject）
賣家回饋（接受，拒絕）

3．4．9 Real time monitor function（M）
3．4．9 即時監控功能（M）

Item 物品

Description 描述

SF－10－Real time monitor function
SF－10－即時監控功能

Purpose 目的

For real time monitor
用於即時監控

Request 要求

所有自動包裝設備的即時監控應包括：箱子數據，位置，傳送時間，開始時間，完成時間，警報，利用率，真空壓力．．．等），還包括搜尋功能和堵塞資訊。

All Auto Packing device＇s real time monitor should include：

Box data ，location，transfer time，start time，complete time，alarm，utilization，Vacuum pressure．．．etc．）Also include search function and jam information．

Acceptance Criteria 驗收標準

On－site function test．現場功能測試。

Vendor feedback （Accept，Reject）
賣家回饋（接受，拒絕）

3．4．10 Bag selection function（M）
3．4．10 袋子選擇功能（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SF－11－Bag selection function SF－11－選袋功能
Purpose 目的	Auto selection function for two kinds of bag．兩種袋子的自動選擇功能。
Request 要求	Auto Packing device have capability to receive bag type information from TAP，Box type or manual definition from controller．自動包裝設備能夠從 TAP 接收袋型訊息，從控制器接收箱型或手動定義。
Acceptance Criteria 驗收標準	On－site function test 現場功能測試
Vendor feedback （Accept，Reject）賣家回饋（接受，拒絕）

3．4．11 Anti－Virus S／W（M）
3.4.11 防毒軟體(M)

Item 物品	Description 描述
ID	SF－12－Anti－Virus S／W SF－12－抗病毒軟體
Purpose 目的	Anti－virus software（office scan or equal）防毒軟體（Office Scan 或同等軟體）
Request 要求	Before tool move in，require to uninstall anti－virus software（須提供橆毒證明）工具入住前，需卸載防毒軟體（須提供橍毒證明）
Acceptance Criteria 驗收標準	On－site function test 現場功能測試
Vendor feedback （Accept，Reject）賣家回饋（接受，拒絕）

3．4．12 Auto Recipe Function（M）
3．4．12 自動配方功能（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SF－13－Auto Recipe Function SF－13－自動配方功能
Purpose 目的	Auto recipe function 自動配方功能
Request 要求	生產參數可設定為Auto Recipe Function，ex：carrier type，bag type，乾燥包數量，抽真 $a^{◻}$ 空噟雁，外真空秒數，熱封利數，壓合時間（依 tsmc 需求而訂）
Acceptance Criteria 驗收標準	Oniste function test Oniste 功能測試
Vendor feedback （Accept，Reject）賣家回饋（接受，拒絕）

3.5 Installation Requirement
3.5 安裝要求

This is to make sure vendor installation safety and quality to fulfill quick ramp up requirement in production environment.
這是為了確保供應商安裝的安全性和品質，以滿足生產環境中的快速提升要求。

3.5.1 Installation requirement (M)
3.5.1 安裝要求（M）

Item 物品

Description 描述

SI-01-All installation process and materials must meet Seismic spec and follow tsmc's rule.
SI-01-所有安裝過程和材料必須符合抗震規格並遵守台積電的規定。

Purpose 目的

Installation safety and quality.
安裝安全和品質。

Request 要求

1. 所有施工人員、安裝流程及材料必須符合抗震規範並遵守台積電 (TSMC) 的規定。例如：電源線尺寸必須符合台積電 (TSMC) 的設施規格。 2. 設備主要應以不燃材料建造。所有材料必須符合台積電 (TSMC) 的 TOC/AMC 規範 (<50ppb)。 3. 所有安裝工具或設備在入廠前必須遵守台積電 (TSMC) 的安全規定。 4. 違反台積電 (TSMC) 規定的承包商將被處以罰款或根據台積電 (TSMC) 的其他處罰規定進行處罰。

1. All workers, installation process and materials must meet Seismic spec and follow tsmc's rule. EX: power cable dimension must follow tsmc facility spec.

2. Equipment should be primarily constructed of non-combustible materials. All materials must pass tsmc's spec of TOC/AMC (<50ppb).

3. All installation tools or equipment must follow tsme safety rules before move-in.

4. Contractors who violate tsmc rules will be fined or be charged other penalty rules of tsmc.

Acceptance Criteria 驗收標準

Afl countermeasure and process follow stand rule.
AFL 的對策和流程遵循標準規則。

Vendor feedback (Accept, Reject)
供應商回饋（接受、拒絕）

3.5.2 Quality Requirement (M)
3.5.2 品質要求（M）

Item 物品

Description 描述

SI-02- Inspection device
SI-02-檢查裝置

Purpose 目的

Reliability and Safety inspection
可靠性與安全性檢驗

Request 要求

供應商提供可靠的測量工具來檢查相關設備。 1.振動測試工具 2.溫度/壓力/真空監測器

Vendor provide reliable measurement tool to inspect related device.

1.Vibration test tool

2. Temperature/Pressure/Vacuum monitor

Acceptance Criteria 驗收標準

Vendor provides official test data before 8 weeks test finished.
供應商在8週測試結束前提供官方測試數據。

Vendor feedback (Accept, Reject)
供應商回饋（接受、拒絕）

3.5.3 Auto Packing Requirement (M)
3.5.3 自動包裝要求（M）

Item 物品

Description 描述

Sl-03-Auto Packing Requirement
SL-03-自動包裝要求

Purpose 目的

Reliability and Safety 可靠性和安全性

Request 要求

1. 便利的裝載埠（快速安裝/輕鬆拆卸） 2. 所有控制器必須嵌入自動包裝。 3. GUI 中的載具位置顯示功能（自動包裝的所有設備） 4. 安全聯鎖功能（EMO/EMS/CCDx4/光幕） 5. 維修門的可移動檢查窗蓋。 6. 提供安全快速的維護工具。

1. Convenient load port (quickly install/ easy remove)

2. All of the controller must be embedded into auto packing.

3. Carrier location display function in GUI (all device of auto packing)

4. Safety interlock function (EMO/EMS/CCDx4/Light Curtain)

5. Movable inspection window cover of maintenance door.

6. Provide safe and quick maintenance tool.

Acceptance Criteria 驗收標準

Vendor provides official test data prior to reliability test
供應商在可靠性測試之前提供官方測試數據

Vendor feedback (Accept, Reject)
供應商回饋（接受、拒絕）

3.5.4 Operation buttons must have cover or protected solution (M)
3.5.4 操作按鈕必須有蓋子或保護方案（M）

Item 物品

Description 描述

Sl-04-Operation panel must have cover or protected solution
SL-04-操作面板必須有蓋子或保護解決方案

Purpose 目的

Prevent miss operation. 防止誤操作。

Request 要求

例如：1. EMO 蓋 2. 操作面板蓋 3. 開關蓋

For example:

1. EMO cover

2. Operation panel cover

3. Switch cover

Acceptance Criteria 驗收標準

All devices must be inspected and tested by sponsor before 72 hours cycle test.
所有設備必須在 72 小時循環測試之前接受贊助商的檢查和測試。

Vendor feedback (Accept, Reject)
供應商回饋（接受、拒絕）

3.5.5 The parts deliver time on schedule (M)
3.5.5 零件交付按期時間（M）

ltem 物品	Description 描述
ID	SI-05-The parts deliver time must keep SI-05-零件交付時間必須維持
Purpose 目的	To make sure the parts deliver time on schedule 確保零件按時交付
Request 要求	If the parts deliver time can not keep the vender's original acceptance, tsmc can replace a new vender anytime if needed 如果零件交付時間無法滿足供應商的原始驗收，台積電可以隨時根據需要更換新的供應商
Acceptance Criteria 驗收標準	Parts deliver time on schedule 零件按時交付
Vendor feedback (Accept, Reject) 供應商回饋（接受、拒絕）

3.5.6 The Move In Parts AMC Control Spec (M)
3.5.6 入庫部件 AMC 控制規範（M）

Item 物品

Description 描述

SI-06-The AMC Control Spec
SI-06-AMC 控制規範

Purpose 目的

To make sure the move in parts' AMC value in spec, will not delay the installation schedule because parts AMC concern
確保部件的 AMC 值符合規範，不會因為部件 AMC 問題而延誤安裝進度

Request 要求

1. 所有材料必須符合台積電的 TOC/AMC 規範（

< 50 十億分之一

) 搬入時。 2. 供應商需要每天測量臨時儲存區域零件的 AMC 數據

1. All materials must pass tsmc's spec of TOC/AMC (

< 50 ppb

) when move in.

2. Vender need to daily measure the temp storage area parts AMC data

Acceptance Criteria 驗收標準

No AMC issue when Auto Packing installation
自動包裝安裝時不存在 AMC 問題

Vendor feedback (Accept, Reject)
供應商回饋（接受、拒絕）

3.5.7 The Rules for Parts Move In (M)
3.5.7 部件入庫規則（M）

Item 物品

Description 描述

Sl-07-The Rules for Parts Move In.
SL-07-零件搬入規則。

Purpose 目的

To decrease the temp storage space and increase the safety
減少臨時儲存空間並提高安全性

Request 要求

1.所有進場車輛需在車角安裝防撞裝置 2.所有進場車輛需安裝煞車 3.所有進場車輛進場時車輪需貼密封膠帶

1. All vehicles of the move in need to install crash preventing device in it's corner

2.: All vehicles of the move in need to install the brakes.

3. All the move in vehicles' wheel need to seal the tape when move in

Acceptance Criteria 驗收標準

Follow all the request
遵循所有請求

Vendor feedback (Accept, Reject)
供應商回饋（接受、拒絕）

3．5．8 Acceptance test procedure（M）
3．5．8 驗收試驗程序（M）

Item 物品

Description 描述

SI－08－Acceptance test procedure
SI－08－驗收試驗程序

Purpose 目的

Define acceptance test procedure
定義驗收測試程序

Request 要求

1．必須通過功能測試。 2．無任何系統問題。 3．供應商現場測試 1．

英里/小時 >= 三十五

，振動

< 0.3 克

2．

MCBI > 2000

透過使用

>= 2

類型袋

& >= 2

型載具，無中斷及故障發生 3．通過 72 小時紅墨水測試 4．通過半 S2 認證 5．功能測試，例如：補料不停機… 4．台積電現場工具放行測試（尖峰傳輸量，無警報）＊通過準則 1．無中斷及故障發生 2．系統尖峰負載以模擬結果為準 3．必須運行 72 小時而無任何警報才能進行下一步；如果任何設備發生警報，則必須重新測試 4．

MCBI > 2000

5．驗收測試（正常傳輸量）＊條件同採購規格＊通過準則 1．系統通過以下 MCBI 規則後，剩餘費用將支付。－MCBI： 2000 中斷 15 定義為： a．只允許復位，不允許斷電 b．不得更改參數 c．不得更換部件 d．

1．Have to pass function test．

2．Without any systematic issue．

3．Vender site test

1．

MPH >= 35

，Vibration

< 0.3 g

2．

MCBI > 2000

by using

>= 2

type bags

& >= 2

type carriers，no interrupt and no failure happen

3．Pass 72 小時紅墨水測試

4．Pass semi－S2 certification

5．Function test，Ex：補料不停機…

4．TSMC site test for tool release（with peak transfer volume，no alarm）

＊Passing criteria

1．No interrupt and no failure happen

2．System peak loading base on simulation result

3．Must running 72 hr without any alarm then can go to next step；if any device happen alarm，have to re－test again

4．

MCBI > 2000

5．Acceptance test（with normal transfer volume）

＊Condition same as purchase spec

＊Passing criteria

1．After the system passed following orteria of MCBI，rest will be paid．

－MCBI： 2000

Interrupt 15 define as：

a．Only reset is allowed，but power－off is not allowed

b．No parameter change

c．No parts change

d．Recover time

< 30 \min

Acceptance Criteria 驗收標準

Function test after installation completed，prior to reliability tests
安裝完成後進行功能測試，可靠性測試前

Vendor feedback （Accept，Reject）
賣家回饋（接受，拒絕）

七．Release前，通過MCBI＞2000即可進入安排尾款的支付

3.6 System Maintenance Requirement
3.6 系統維護要求

This is to make sure the final system can sustain very well to reduce operation interrupt abnormal event in production environment.
這是為了確保最終系統能夠很好地維持，以減少生產環境中的營運中斷異常事件。

3.6.1 Detail System spec and maintenance document (M)
3.6.1 詳細系統規格及維護文件（M）

Item 物品

Description 描述

SM-01-Detail System spec and maintenance document
SM-01-詳細系統規格及維護文件

Purpose 目的

Maintain Auto Packing HW system
維護自動包裝硬體系統

Request 要求

所有自動包裝設備相關圖面及文件，例如：1. 硬體設備圖。 2. 維護手冊/PM 手冊。 3. 備件清單及資訊。 4. 網路圖紙。 5. 地震後檢查及恢復程序。

All Auto Packing device related drawing & document, for example:

1. HW device drawing.

2. Maintenance manual/PM manual.

3. Spare parts list and information.

4. Network drawing.

5. Inspection & recovery procedure after earthquake.

Acceptance Criteria 驗收標準

All devices must be inspected and tested by sponsor before 72 hours cycle test.
所有設備必須在 72 小時循環測試之前接受贊助商的檢查和測試。

Vendor feedback (Accept, Reject)
供應商回饋（接受、拒絕）

3.6.2 Maintenance service requirement (M)
3.6.2 維護服務要求（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SM-02-Maintenance service requirement SM-02-維護服務要求
Purpose 目的	Maintain Auto Packing HW system 維護自動包裝硬體系統
Request 要求	1. Vendor must provide on ste support or restricted response time. Before end of warranty, office time < 1 hour; Non-office time < 2 hours. After end of warranty, office time $< 2$ hour; Non-office time $< 4$ hours. 2. Before MCBI < 2000, 9~19 on site service, 19~09 on call service 1. 供應商必須提供現場支援或限制回應時間。保固期滿前，辦公時間 1 小時；非辦公時間 2 小時。保固期滿後，辦公時間 $< 2$ 小時；非辦公時間 $< 4$ 小時。 2. MCBI 2000 年之前，9 點至 19 點提供現場服務，19 點至 09 點提供電話服務
Acceptance Criteria 驗收標準	Wait vendor provide proposal 等待供應商提供提案
Vendor feedback (Accept, Reject) 供應商回饋（接受、拒絕）

3.6.3 Official training for tsmc AMHS engineer (M)
3.6.3 台積電 AMHS 工程師正式訓練（M）

Item 物品

Description 描述

SM-03-Official training for tsmc AMHS engineer
SM-03-台積電 AMHS 工程師官方培訓

Purpose 目的

Maintain Auto Packing HW system
維護自動包裝硬體系統

Request 要求

供應商為台積電工程師提供官方 HW/SW 操作與維修訓練 1.免費：8 名工程師，每人 24 小時培訓計畫。 2.提供官方訓練教材/ PM 檢查表。 3.供應商為使用者提供持續培訓服務。

Vendor provide official HW/SW training to tsmc engineer for operation and maintenance

1. Free charge: 8 engineers, per person 24 hours training program.

2. Provide official training material/ PM check list.

3. Vendor provides continuous training service for users.

Acceptance Criteria 驗收標準

All trainees pass final test and get completed training material.
所有學員均通過期末考並獲得完整的培訓材料。

Vendor feedback (Accept, Reject)
供應商回饋（接受、拒絕）

3.6.4 Maintenance tools, Jig, software and accessories (M)
3.6.4 維護工具、夾具、軟體及配件（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SM-04- Maintenance tools, jig, software and accessories SM-04-維護工具、夾具、軟體和配件
Purpose 目的	Maintain Auto Packing HW system 維護自動包裝硬體系統
Request 要求	Vendor shall provide related maintenance tools, jig, software and accessories. 供應商應提供相關的維護工具、夾具、軟體和配件。
Acceptance Criteria 驗收標準	All tools must be received and tested by sponsor before 8 weeks test. 所有工具必須在 8 週測試之前由贊助商接收並測試。
Vendor feedback (Accept, Reject) 供應商回饋（接受、拒絕）

3．6．5 Spare parts list／Parts supply service（M）
3．6．5 備件清單／零件供應服務（M）

Item 物品

Description 描述

SM－05－Spare parts list／Parts supply service
SM－05－備品清單／零件供應服務

Purpose 目的

Maintain Auto Packing HW system
維護自動包裝硬體系統

Request 要求

1．Key parts（動件如馬達，氣壓缸，滑軌，皮帶，軸承，etc．．．）life time＞ 3 years

2．Parts 確保 7年内不斷料

Acceptance Criteria 驗收標準

All items must be submitted before acceptance test completed．
所有項目必須在驗收測試完成前提交。

Vendor feedback （Accept，Reject）
賣家回饋（接受，拒絕）

1．根據具体情况，提供售後維修服歌保障（保固肉免費更换㦳维修，不
1．根據具體情況，提供售後維修服歌保障（保修肉免費更換㦳維修，不

3．6．6 Quickly Auto Packing maintenance solution $(M)_{説}$
3．6．6 快速自動包裝維護解決方案 $(M)_{説}$

Item 物品

Description 描述

SM－06－Maintenance tools and accessories
SM－06－維修工具及配件

Purpose 目的

Maintain Auto Packing HW system
維護自動包裝硬體系統

Request 要求

1．關鍵零件不應由中國製造。 2．消費部件應本地化（但不得來自中國），任何變更或修改應由台積電證明。 3．資料庫支援。（應共享來自供應商資料庫的使用者需求資訊）

1．Critical parts should not made from PRC

2．Consumer parts should localization（but not from PRC），and any change or modification should prove by tsmc．

3．Data base support．（Should share user need information from vendor data base）

Acceptance Criteria 驗收標準

All items must be submitted before acceptance test completed．
所有項目必須在驗收測試完成前提交。

Vendor feedback （Accept，Reject）
賣家回饋（接受，拒絕）

3．6．7 Qualified Engineer（M）
3．6．7 合格工程師（男）

Item 物品

Description 描述

SM－07．All tasks must be done by qualified engineer
SM－07．所有任務必須由合格的工程師完成

Purpose 目的

Safety and qualify requirement
安全和品質要求

Request 要求

1．所有服務工程師必須具備至少2年工作經驗並持有執照。 2．提供定期資格測試及執照。 3．為台積電工程聘用任何分包商或承包商均須獲得台積電的同意。

1．All of service engineer must have 2 years experience at least and license．

2．Provide regular qualify test and license．

3．Hire any sub vendor or contractor for tsmc project must get tsmc agreement．

Acceptance Criteria 驗收標準

Before projects start，vendor must show qualified license to prove it．
在專案開始前，供應商必須出示合格的許可證來證明這一點。

Vendor feedback （Accept，Reject）
賣家回饋（接受，拒絕）

3．6．8 Revise PM check list and frequency（M）
3．6．8 修訂 PM 檢查表及頻率（M）

Item 物品

Description 描述

SM－08－Review HW PM check list and frequency
SM－08－檢討硬體維護預防檢查清單和頻率

Purpose 目的

Safety and quality requirement．
安全品質要求。

Request 要求

1．請重新審核 PM 流程，提供更完善的實用檢查項目： 2．審核 PM 頻率，減少系統宕機時間。 3．合約確認後，HW PM 頻率不可增加。

1．Please review PM procedure to provide better practical check item：

2．Review PM frequency to shrink down system down time．

3．HW PM frequency cannot increase after contract confirmed．

Acceptance Criteria 驗收標準

Wait vendor provide report．
等待供應商提供報告。

Vendor feedback （Accept，Reject）
賣家回饋（接受，拒絕）

3．6．9 MA Cost Forecast for Future 10 years（M）
3．6．9 未來 10 年 MA 成本預測（M）

ltem 物品	Description 描述
ID	SM－09－MA Cost Forecast for Future 10 years SM－09－MA 未來 10 年成本預測
Purpose 目的	To understand the possible 10 year MA cost after warranty 了解保固期後 10 年的 MA 成本
Request 要求	1．To show the possible yearly MA cost for future 10 years before vendor selection 1. 在選擇供應商之前展示未來 10 年可能的年度 MA 成本
Acceptance Criteria 驗收標準	Wait vendor provide report before vendor selection 在選擇供應商之前等待供應商提供報告
Vendor feedback （Accept，Reject）賣家回饋（接受，拒絕）

3.6.10 Warranty define (M)
3.6.10 保固定義（M）

Item 物品

Description 描述

SM-10-Warranty define SM-10-保固定義

Purpose 目的

Define the warranty start criteria
定義保固開始條件

Request 要求

1. 驗收測試後，系統通過以下 MCBF 或 8 週測試標準後，即可開始 12 個月的保固期。 1. 控制器基礎--一週內無故障。（同一單元一週累計兩次輔助操作，供應商必須檢查歷史記錄和根本原因） 2. 系統累積 8 週或 MCBF 後

> 7000

通過，一周內沒有失敗，它可以通過可靠性測試。 2. 1 年保修，2 次免費 PM 3. 所有系統問題應在保固開始前解決如果系統問題在保固期間或保固期後發生，應修復且無需任何額外費用 - MCBF：7000 - 故障定義為：a. 斷電 b. 參數更改 c. 零件更換和車輛拆卸 d. 恢復時間

> 30 \min

1. After Acceptance test and the system passed following criteria of MCBF or 8 week test, it can start the 12 months warranty period.

1. By controller base --> No failure within one week. (Accumulate two times assistants in one unit one week, vendor must inspect history log and root cause)

2. After the system has accumulated 8 weeks or MCBF

> 7000

of passing, without failure in a week, it can pass the reliability test.

2. 1 year warranty with 2 times free PM

3. All of the systematic issue should be solve before warranty start If systematic issue happen during warranty or after warranty, should be fixed and without any extra cost

- MCBF: 7000

- Failure is define as:

a. Power-off

b. Parameter change

c. Parts change and vehicle removal

d. Recover time

> 30 \min

Acceptance Criteria 驗收標準

Base on actual situation in FAB
依 FAB 實際情況

Vendor feedback (Accept, Reject)
供應商回饋（接受、拒絕）

3.6.11 Parts management (M)
3.6.11 零件管理（M）

Item 物品	Description 描述
ID	SM-11-Parts management SM-11-零件管理
Purpose 目的	Parts management 零件管理
Request 要求	Any incoming part should be attached barcode id for tsmc Parts Tracing System. Spare parts should be arrived tsmc within 12 hrs . 任何到貨零件均需附上條碼，以便台積電零件追蹤系統追蹤。備件應於12小時內送達台積電。
Acceptance Criteria 驗收標準	Follow all the request 遵循所有請求
Vendor feedback (Accept, Reject) 供應商回饋（接受、拒絕）

3.6.12 Required Documents after pass acceptance test (M)
3.6.12 驗收測試通過後所需文件（M）

Item 物品

Description 描述

SM-12- Required Document after pass acceptance test
SM-12-驗收測試通過後所需文件

Purpose 目的

Improve user's trouble shooting and tool maintain capability
提升用戶故障排除和工具維護能力

Request 要求

驗收測試通過後，提供以下文件：1. 硬體設備圖。 2. 維護手冊/PM 手冊。 3. 備件清單及資訊。 4. 網路圖。 5. 地震後檢查及恢復程序。 6. 電源開關程序

Provide below documents after pass acceptance test

1. HW device drawing.

2. Maintenance manual/PM manual.

3. Spare parts list and information.

4. Network drawing.

5. Inspection & recovery procedure after earthquake.

6. Power on/off procedure

Acceptance Criterla 驗收標準

All devices must be inspected and tested by sponsor before 72 hours cycle test.
所有設備必須在 72 小時循環測試之前接受贊助商的檢查和測試。

Vendor feedback (Accept, Reject)
供應商回饋（接受、拒絕）

Serial No.	Document Description	Version	Release Date
1	M-C00-16-02-009 300MM AMHS SYSTEM PURCHASING SPECIFICATION M-C00-16-02-009 300MM AMHS 系統採購規範	Version 6
2	M-C00-16-03-003 300MM TOOL INTERFACE WITH OPERATION SPECIFICATION M-C00-16-03-003 300MM 工具介面及操作規範	Version 7 版本 7
3	M-C00-16-02-003 300MM TOOL AUTOMATION SPECIFICATION M-C00-16-02-003 300MM 工具自動化規格	Version 17 版本 17
4	M-C00-16-03-002 300MM TOOL ESH SPECIFICATION M-C00-16-03-002 300MM 工具 ESH 規格	Version 16 版本 16
5	Auto Packing Demand & Schedule 自動包裝需求與時間表	Version 0 版本 0
6	Auto Packing Layout & Location 自動包裝佈局和位置	Version 0 版本 0
7	15245/TBC2011/MIOS 891008	Version 1.0 版本 1.0

Request for Proposal（RFP）Document AP AUTO PACKING Project招標書（RFP）文件 AP AUTO PACKING 項目

TABLE OF CONTENTS 目錄

3.1 Preface

3.1.1 What is this document3.1.1 這是什麼文件

3.1.2 Who should read this document3.1.2 誰應該閱讀本文檔

3.1.3 Related documents 3.1.3 相關文件

3．2 Purpose 3．2 目的

3．2．1 Scope 3．2．1 範圍

3．2．2 Constraints 3．2．2 約束

3．2．3 Definitions，Acronyms and Abbreviations3．2．3 定義、縮寫和縮寫

3．2．4 Requirements Gathering and Analysis Methodology3．2．4 需求收集與分析方法

3．2．5 Requirements Traceability3．2．5 需求可追溯性

3．2．6 Auto Packing Device Project Schedule3．2．6 自動包裝裝置專案進度計劃

3．3 Design Requirement 3．3 設計要求

3．3．1 Packing Carrier type（M）3．3．1 包裝載體類型（M）

3．3．2 Capability for two kinds of bag（M）3．3．2 兩種袋容量（M）

3．3．3 Capability for 乾燥劑自動入袋（M）

3．3．4 Capability for 抽真空\＆充氮氣（M）

3．3．5 Capability for Info pad（RFID）拔取（M）3．3．5 資訊板功能（RFID）拔除（M）

3．3．6 Capability for 包裝袋自動封口（M）

3．3．7 Capability for 一種自動貼標（M）

3．3．8 Capability for 自動折袋（M）3．3．8 自動折袋能力（M）

3．3．9 Maximum packing and 結合機 move（M）3．3．9 最大裝箱及結合機移動（M）

3．3．10 Maximum Tool Dimension（M）3．3．10 最大刀具尺寸（M）

3．3．11 Seismic specification certification（M）3．3．11 抗震規範認證（M）

3．3．12 Auto packing and 結合機 Maximum Input／Output storage buffer（M）3．3．12 自動打包組合最大輸入／輸出儲存緩衝區（M）

3．3．13 Auto packing and 結合機 load port Design（M）3．3．13 自動包裝耦合機裝料口設計（M）

3．3．14 Vibration spec（M）3．3．14 振動規格（M）

3．3．15 Auto Packing Running Noise（M）3．3．15 自動包裝運轉噪音（M）

3．3．16 Cleanliness for Auto Packing（M）3．3．16 自動包裝潔淨度（M）

3．3．17 EMI for Auto Packing（M）3．3．17 汽車包裝 EMI（M）

3．3．18 RFID \＆Barcode Reader（M）3．3．18 RFID 及條碼閱讀器（M）

3．3．19 Camera for tool inside status monitor（M）3．3．19 刀具內部狀態監控攝影機（M）

3．3．20 Box drop prevention design（M）3．3．20 箱體防掉落設計（M）

3．3．21 Semi－S2 Certification and Seismic report（M）3．3．21 半 S2 認證及抗震報告（M）

3．3．22 Auto Packing reliability（M）3．3．22 自動包裝可靠性（M）

3．3．24 Tool Weight Density Constraint（M）3．3．24 刀具重量密度約束（M）

3．3．25 Cover material（M）3．3．25 封面材料（M）

3．3．26 Safety temperature（M）3．3．26 安全溫度（M）

3．3．28 結合機放置 FOUP／FOSB 到對應 Tray（M）

3．4 System Function Requirement3．4 系統功能需求

3．4．1 Auto Packing information for alarm log（M）3．4．1 警報日誌自動打包訊息（M）

3．4．2 Synchronization function between MES and all local controller（M）3．4．2 MES 與各本機控制器同步功能（M）

3．4．3 Pre－alarm system（M）3．4．3 預警系統（M）

3．4．4 MA fee support TSMC propose new function idea（M）3．4．4 MA 費用支持台積電提出新功能構想（M）

3．4．5 Controller server loading have to less than 4 0 % ( M ) 4 0 % ( M ) 40%(M)\mathbf{4 0 \%}(\mathrm{M})3．4．5 控制器伺服器負載必須小於 4 0 % ( M ) 4 0 % ( M ) 40%(M)\mathbf{4 0 \%}(\mathrm{M})

3．4．6 Analysis tool for performance or reliability checking（M）3．4．6 性能或可靠性檢查分析工具（M）

3．4．7 Unique account，password and level control for all controllers（M）3．4．7 所有控制器唯一的帳號、密碼及等級控制（M）

3．4．8 Fast recovery function（M）3．4．8 快速恢復功能（M）

3．4．9 Real time monitor function（M）3．4．9 即時監控功能（M）

3．4．10 Bag selection function（M）3．4．10 袋子選擇功能（M）

3．4．11 Anti－Virus S／W（M）3.4.11 防毒軟體(M)

3．4．12 Auto Recipe Function（M）3．4．12 自動配方功能（M）

3.5 Installation Requirement3.5 安裝要求

3.5.1 Installation requirement (M)3.5.1 安裝要求（M）

3.5.2 Quality Requirement (M)3.5.2 品質要求（M）

3.5.3 Auto Packing Requirement (M)3.5.3 自動包裝要求（M）

3.5.4 Operation buttons must have cover or protected solution (M)3.5.4 操作按鈕必須有蓋子或保護方案（M）

3.5.5 The parts deliver time on schedule (M)3.5.5 零件交付按期時間（M）

3.5.6 The Move In Parts AMC Control Spec (M)3.5.6 入庫部件 AMC 控制規範（M）

3.5.7 The Rules for Parts Move In (M)3.5.7 部件入庫規則（M）

3．5．8 Acceptance test procedure（M）3．5．8 驗收試驗程序（M）

3.6 System Maintenance Requirement3.6 系統維護要求

3.6.1 Detail System spec and maintenance document (M)3.6.1 詳細系統規格及維護文件（M）

3.6.2 Maintenance service requirement (M)3.6.2 維護服務要求（M）

3.6.3 Official training for tsmc AMHS engineer (M)3.6.3 台積電 AMHS 工程師正式訓練（M）

3.6.4 Maintenance tools, Jig, software and accessories (M)3.6.4 維護工具、夾具、軟體及配件（M）

3．6．5 Spare parts list／Parts supply service（M）3．6．5 備件清單／零件供應服務（M）

3．6．6 Quickly Auto Packing maintenance solution ( M ) 説 ( M ) 説 (M)_("説 ")(\mathrm{M})_{\text {説 }}説3．6．6 快速自動包裝維護解決方案 ( M ) 説 ( M ) 説 (M)_("説 ")(\mathrm{M})_{\text {説 }}説

3．6．7 Qualified Engineer（M）3．6．7 合格工程師（男）

3．6．8 Revise PM check list and frequency（M）3．6．8 修訂 PM 檢查表及頻率（M）

3．6．9 MA Cost Forecast for Future 10 years（M）3．6．9 未來 10 年 MA 成本預測（M）

3.6.10 Warranty define (M)3.6.10 保固定義（M）

3.6.11 Parts management (M)3.6.11 零件管理（M）

3.6.12 Required Documents after pass acceptance test (M)3.6.12 驗收測試通過後所需文件（M）

Request for Proposal（RFP）Document AP AUTO PACKING Project
招標書（RFP）文件 AP AUTO PACKING 項目

3.1.1 What is this document
3.1.1 這是什麼文件

3.1.2 Who should read this document
3.1.2 誰應該閱讀本文檔

3．2．3 Definitions，Acronyms and Abbreviations
3．2．3 定義、縮寫和縮寫

3．2．4 Requirements Gathering and Analysis Methodology
3．2．4 需求收集與分析方法

3．2．5 Requirements Traceability
3．2．5 需求可追溯性

3．2．6 Auto Packing Device Project Schedule
3．2．6 自動包裝裝置專案進度計劃

3．3．1 Packing Carrier type（M）
3．3．1 包裝載體類型（M）

3．3．2 Capability for two kinds of bag（M）
3．3．2 兩種袋容量（M）

3．3．5 Capability for Info pad（RFID）拔取（M）
3．3．5 資訊板功能（RFID）拔除（M）

3．3．8 Capability for 自動折袋（M）
3．3．8 自動折袋能力（M）

3．3．9 Maximum packing and 結合機 move（M）
3．3．9 最大裝箱及結合機移動（M）

3．3．10 Maximum Tool Dimension（M）
3．3．10 最大刀具尺寸（M）

3．3．11 Seismic specification certification（M）
3．3．11 抗震規範認證（M）

3．3．12 Auto packing and 結合機 Maximum Input／Output storage buffer（M）
3．3．12 自動打包組合最大輸入／輸出儲存緩衝區（M）

3．3．13 Auto packing and 結合機 load port Design（M）
3．3．13 自動包裝耦合機裝料口設計（M）

3．3．14 Vibration spec（M）
3．3．14 振動規格（M）

3．3．15 Auto Packing Running Noise（M）
3．3．15 自動包裝運轉噪音（M）

3．3．16 Cleanliness for Auto Packing（M）
3．3．16 自動包裝潔淨度（M）

3．3．17 EMI for Auto Packing（M）
3．3．17 汽車包裝 EMI（M）

3．3．18 RFID \＆Barcode Reader（M）
3．3．18 RFID 及條碼閱讀器（M）

3．3．19 Camera for tool inside status monitor（M）
3．3．19 刀具內部狀態監控攝影機（M）

3．3．20 Box drop prevention design（M）
3．3．20 箱體防掉落設計（M）

3．3．21 Semi－S2 Certification and Seismic report（M）
3．3．21 半 S2 認證及抗震報告（M）

3．3．22 Auto Packing reliability（M）
3．3．22 自動包裝可靠性（M）

3．3．24 Tool Weight Density Constraint（M）
3．3．24 刀具重量密度約束（M）

3．3．25 Cover material（M）
3．3．25 封面材料（M）

3．3．26 Safety temperature（M）
3．3．26 安全溫度（M）

3．4 System Function Requirement
3．4 系統功能需求

3．4．1 Auto Packing information for alarm log（M）
3．4．1 警報日誌自動打包訊息（M）

3．4．2 Synchronization function between MES and all local controller（M）
3．4．2 MES 與各本機控制器同步功能（M）

3．4．3 Pre－alarm system（M）
3．4．3 預警系統（M）

3．4．4 MA fee support TSMC propose new function idea（M）
3．4．4 MA 費用支持台積電提出新功能構想（M）

3．4．5 Controller server loading have to less than $40 % (M)$
3．4．5 控制器伺服器負載必須小於 $40 % (M)$

3．4．6 Analysis tool for performance or reliability checking（M）
3．4．6 性能或可靠性檢查分析工具（M）

3．4．7 Unique account，password and level control for all controllers（M）
3．4．7 所有控制器唯一的帳號、密碼及等級控制（M）

3．4．8 Fast recovery function（M）
3．4．8 快速恢復功能（M）

3．4．9 Real time monitor function（M）
3．4．9 即時監控功能（M）

3．4．10 Bag selection function（M）
3．4．10 袋子選擇功能（M）

3．4．11 Anti－Virus S／W（M）
3.4.11 防毒軟體(M)

3．4．12 Auto Recipe Function（M）
3．4．12 自動配方功能（M）

3.5 Installation Requirement
3.5 安裝要求

3.5.1 Installation requirement (M)
3.5.1 安裝要求（M）

3.5.2 Quality Requirement (M)
3.5.2 品質要求（M）

3.5.3 Auto Packing Requirement (M)
3.5.3 自動包裝要求（M）

3.5.4 Operation buttons must have cover or protected solution (M)
3.5.4 操作按鈕必須有蓋子或保護方案（M）

3.5.5 The parts deliver time on schedule (M)
3.5.5 零件交付按期時間（M）

3.5.6 The Move In Parts AMC Control Spec (M)
3.5.6 入庫部件 AMC 控制規範（M）

3.5.7 The Rules for Parts Move In (M)
3.5.7 部件入庫規則（M）

3．5．8 Acceptance test procedure（M）
3．5．8 驗收試驗程序（M）

3.6 System Maintenance Requirement
3.6 系統維護要求

3.6.1 Detail System spec and maintenance document (M)
3.6.1 詳細系統規格及維護文件（M）

3.6.2 Maintenance service requirement (M)
3.6.2 維護服務要求（M）

3.6.3 Official training for tsmc AMHS engineer (M)
3.6.3 台積電 AMHS 工程師正式訓練（M）

3.6.4 Maintenance tools, Jig, software and accessories (M)
3.6.4 維護工具、夾具、軟體及配件（M）

3．6．5 Spare parts list／Parts supply service（M）
3．6．5 備件清單／零件供應服務（M）

3．6．6 Quickly Auto Packing maintenance solution $(M)_{説}$
3．6．6 快速自動包裝維護解決方案 $(M)_{説}$

3．6．7 Qualified Engineer（M）
3．6．7 合格工程師（男）

3．6．8 Revise PM check list and frequency（M）
3．6．8 修訂 PM 檢查表及頻率（M）

3．6．9 MA Cost Forecast for Future 10 years（M）
3．6．9 未來 10 年 MA 成本預測（M）

3.6.10 Warranty define (M)
3.6.10 保固定義（M）

3.6.11 Parts management (M)
3.6.11 零件管理（M）

3.6.12 Required Documents after pass acceptance test (M)
3.6.12 驗收測試通過後所需文件（M）